中心设备
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1、直流电流-电压(I-V) 范围:10 aA - 1A,0.2 µV - 210 V 。2、电容-电压(C-V) 范围:1 kHz - 10 MHz,± 30V 直流偏置。3、脉冲 I-V范围:±40 V(80 V p-p),±800 mA,200 MSa/s,5 ns 采样率。
使用 4200A-SCS 加快半导体设备、材料和工艺开发的探索、可靠性和故障分析研究。 最高性能参数分析仪,提供同步电流-电压 (I-V)、电容-电压 (C-V) 和超快脉冲 I-V 测量。
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4200-SCS 是一种可以量身定制、全面集成 的参数分析仪,可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V) 和超快速脉冲式I-V 特性。作为高性能的参数分析仪, 4200-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。